Hochpräzises Weißlicht-Interferometer zur berührungslosen Abstands- und Dickenmessung

Die innovativen Weißlicht-Interferometer von Micro-Epsilon setzen eine Benchmark in der hochpräzisen Abstands- und Dickenmessung. Die Sensoren ermöglichen stabile Messergebnisse mit einer Sub-Nanometerauflösung und verfügen über einen vergleichsweise großen Messbereich und Grundabstand. Die Interferometer sind in 3 Serien verfügbar: das IMS5400-DS zur hochpräzisen industriellen Abstandmessung, das IMS5400-TH zur genauen Dickenmessung und das vakuumtaugliche IMS5600-DS für Abstandsmessungen mit Pikometer-Auflösung.